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等離子清洗機(jī)在集成電路制做過程中的應(yīng)用

發(fā)表時(shí)間:2021-07-30      點(diǎn)擊次數(shù):374

  等離子清洗機(jī)作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。在集成電路的制程中,會(huì)產(chǎn)生許多種類的污染物,包括氟化樹脂、氧化物、環(huán)氧樹脂、焊料、光刻蝕劑等,這些污染物將嚴(yán)重影響集成電路及其元器件的可靠性和合格率。等離子清洗作為一種能有效去除表面污染物的工藝技術(shù)被廣泛應(yīng)用于集成電路的制程中。

  等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四中狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

  等離子清洗機(jī)在金屬去油及清潔方面的應(yīng)用:

  金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層,在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。焊接操作前:通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)需要采用等離子方法去除,否則會(huì)帶來腐蝕等問題。

  鍵合操作前:好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱,這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對(duì)鍵合的質(zhì)量也是有害的,也需要進(jìn)行等離子清潔。

  等離子清洗機(jī)不需要使用大量的酸、堿、有機(jī)溶劑等,不會(huì)給環(huán)境帶來任何污染,有利于環(huán)保和人員安全,同時(shí)該清洗技術(shù)的均勻性、重復(fù)性和可控性非常好,具有三維處理能力,可以進(jìn)行方向選擇。它的特點(diǎn)是沒有正負(fù)電極,自偏壓很小,不會(huì)產(chǎn)生放電污染,有效防止靜電損傷;等離子密度高,生產(chǎn)效率高;離子運(yùn)動(dòng)沖擊小,不會(huì)產(chǎn)生UV(紫外線)輻射,尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。


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