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等離子表面處理儀可以大大改善封裝可靠性

發(fā)表時(shí)間:2022-04-20      點(diǎn)擊次數(shù):334

  目前組裝技術(shù)的趨勢(shì)主要是SIP、BGA、CSP封裝使半導(dǎo)體器件向模塊化、高集成化和小型化方向發(fā)展。在這樣的封裝與組裝工藝中,問(wèn)題是粘結(jié)填料處的有機(jī)物污染和電加熱中形成的氧化膜等。由于在粘結(jié)表面有污染物存在,導(dǎo)致這些元件的粘接強(qiáng)度降低和封裝后樹脂的灌封強(qiáng)度降低,直接影響到這些元件的組裝水平與繼續(xù)發(fā)展。為提高與改善這些元件的組裝能力,都在想盡一切辦法進(jìn)行處理。提高實(shí)踐證明,在封裝工藝中適當(dāng)?shù)匾氲入x子表面處理儀進(jìn)行表面處理,可以大大改善封裝可靠性和提高成品率。

  離子體通常稱作物質(zhì)的第四種狀態(tài),前三種狀態(tài)是固體、液體、氣體,它們是比較常見(jiàn)的,就存在于我們周圍。離子體盡管在宇宙的別處非常豐富,但在地球上只存在于某種特定環(huán)境。離子體的自然存在包括閃電、北極光。就好像把固體轉(zhuǎn)變成氣體需要能量一樣,產(chǎn)生離子體也需要能量。

  當(dāng)溫度升高時(shí),物質(zhì)就由固體變成液體,液體則會(huì)變成氣體。當(dāng)氣體的溫度升高時(shí),此氣體分子會(huì)分離成為原子,若溫度繼續(xù)上升,圍繞在原子核周圍的電子就會(huì)脫離原子成離子(正電荷)與電子(負(fù)電荷),此現(xiàn)象稱為“電離”。因電離現(xiàn)象而帶有電荷離子的氣體便稱為“等離子(PLASMA)”。因此通常將等離子歸類為自然界中的“固體”、“液體”、“氣體”等物態(tài)以外的“第四態(tài)”。

  等離子表面處理儀主要是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無(wú)機(jī)氣體(Ar2、N2、H2、O2等)在高頻低壓下被激發(fā),產(chǎn)生含有離子、激發(fā)態(tài)分子,自由基等多種活性粒子。一般在等離子清洗中,可把活化氣體分為兩類,一類為惰性氣體的等離子體(如Ar2、N2等);另一類為反應(yīng)性氣體的等離子體(如02、H2等)。等離子產(chǎn)生的原理如下:給一組電極施以射頻電壓(頻率約為幾十兆赫茲),電極之間形成高頻交變電場(chǎng),區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場(chǎng)的激蕩下,產(chǎn)生等離子體?;钚缘入x子對(duì)被清洗物進(jìn)行表面物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過(guò)抽真空排出,而達(dá)到清洗目的。

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