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如何選購合適的勻膠旋涂儀?

發(fā)表時間:2022-11-04      點擊次數(shù):332

  勻膠旋涂儀有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

  如何選購合適的勻膠旋涂儀?

  針對目前勻膠機市場品牌眾多,因此結(jié)合自己多年從事勻膠機技術(shù)服務(wù)的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。從其原理來說,我們可以看出選購勻膠儀需要注意的幾個細(xì)節(jié):

  1、旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能準(zhǔn)確標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。

  2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

  真空泵一定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯(lián)動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。

  3、材質(zhì)的選擇

  對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。

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