關(guān)于等離子清洗機的相關(guān)知識點講解
等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生的物質(zhì)。等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電磁場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體越來越稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長,受磁場作用,發(fā)生碰撞而形成等離子體,同時會發(fā)生輝光。等離子體在電磁場內(nèi)空間運動,并轟擊被處理物體表面,從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。
等離子清洗機可用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染,防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區(qū)分析造成誤判。還可利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發(fā)射透射電鏡和場發(fā)射掃描電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面,不會改變樣品元素成份和表面結(jié)構(gòu)特征。
該清洗機具有H2,O2,Ar三組分通道。從而能夠利用H2/02組分,可減小樣品濺射損傷,還可對多孔碳膜進行無破壞的清洗。從而提高樣品在低電壓下的成像能力,在化學微量分析時提高其精度。無油真空系統(tǒng):泵體部分由多級隔膜泵和超靜音分子泵組成,真空度可達10E-4Pa等級,在保證真空度的同時,可在兩分鐘之內(nèi)達到抽真空和放氣過程;整個清洗過程在4分鐘內(nèi)可以完成。還可清洗大部分標準透射電鏡樣品桿以及掃描電鏡樣品載臺及不規(guī)則樣品,樣品室直徑>8cm,樣品室高度>5cm。
等離子清洗機根據(jù)它用途的不同,可選用多種構(gòu)造的清洗設備,并可通過選用不同種類的氣體,調(diào)整裝置的特征參數(shù)等方法使工藝流程實現(xiàn),但等離子體清洗裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的。關(guān)于等離子清洗機的相關(guān)知識點就先說到這里了,這款產(chǎn)品還有很多的常識等著各位來發(fā)現(xiàn)與了解,如果您還想要了解更多內(nèi)容,還請先關(guān)注好我們,小編會不定期在此跟大家分享更多的信息。
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